Вакуумные мембранные насосы можно разделить на типы с моторным-приводом, электромагнитным-и пьезоэлектрическим-приводом в зависимости от различных методов привода. По количеству напорных ступеней различают двух-насосы. По коррозионной стойкости их можно разделить на обычный тип и коррозионно--стойкий тип, последний обычно имеет конструкцию проточной части, полностью выполненную из ПТФЭ (политетрафторэтилена).
Мембранный насос VB-40, устойчивый к коррозии-, представляет собой двух-ступенчатый насос с головкой из ПТФЭ. Его предельный вакуум составляет 15-20 мбар, а максимальная скорость потока — 35 л/мин. KNF N 920 G — высоковакуумный мембранный насос с предельным вакуумом 2 мбар и скоростью откачки 21 л/мин. В нем используется диафрагма с покрытием из ПТФЭ- и двигатель с регулируемой частотой. ULVAC DTC-41K — это химически устойчивый к коррозии-диафрагменный насос с предельным вакуумом 1000 Па. Скорость откачки при 50 Гц и 60 Гц составляет 40 л/мин и 46 л/мин соответственно. КНФ Н 035.1.2 АН.18 представляет собой вакуумно-напорный насос двойного назначения с вакуумом 100 мбар, давлением 4 бар и скоростью откачки 55 л/мин. B40-8-YK — двухступенчатый коррозионностойкий насос с предельным вакуумом 6–8 мбар, максимальным расходом 40 л/мин и рабочим шумом ниже 55 дБ. Кроме того, серия небольших диафрагменных вакуумных насосов с регулируемой частотой EYELA также включает такие модели, как серии DTC-22, DTC-41 и NVP.
